甬江實驗室微納平臺8英寸驗證線正式通線！

  ICC訊 11月18日上午，2025異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇暨甬江實驗室信息材料與微納器件制備平臺（以下簡稱“微納平臺”）驗證線通線儀式舉行，備受關(guān)注的微納平臺8英寸驗證線正式通線。至此，甬江實驗室正式建成國內(nèi)領(lǐng)先、世界一流的全鏈條異質(zhì)異構(gòu)集成開放共享平臺。

  當天，鎮(zhèn)海區(qū)區(qū)委書記、寧波石化開發(fā)區(qū)黨工委書記（兼）林斌，市政府副秘書長（兼）、甬江科創(chuàng)區(qū)建設(shè)領(lǐng)導(dǎo)小組辦公室常務(wù)副主任徐云，甬江實驗室主任崔平，異質(zhì)異構(gòu)集成及半導(dǎo)體相關(guān)領(lǐng)域行業(yè)專家學(xué)者，共同見證微納平臺驗證線正式通線。同期舉辦的2025異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇，吸引了國內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域的龍頭企業(yè)和科研機構(gòu)參會，各方圍繞前沿成果、技術(shù)趨勢和關(guān)鍵挑戰(zhàn)進行了深入交流，探討合作路徑。

  微納平臺是甬江實驗室在電子信息材料與器件領(lǐng)域布局建設(shè)的重要公共科研支撐服務(wù)平臺，也是甬江實驗室迄今為止投入最大的平臺。平臺建筑面積12000平方米，其中潔凈室面積6000平方米，配備包含165臺(套)高端精密設(shè)備和一支規(guī)模達到60余人的運營團隊。

  平臺聚焦“異質(zhì)異構(gòu)集成”特色方向，以國際一流水平的軟硬件為支撐，為半導(dǎo)體行業(yè)提供從“科學(xué)發(fā)現(xiàn)—技術(shù)驗證—工程實現(xiàn)”的全鏈條研發(fā)驗證服務(wù)，并提供先進穩(wěn)定的工藝設(shè)計套件和高工業(yè)參考價值的系統(tǒng)解決方案，致力于成為支撐前沿科技創(chuàng)新、引領(lǐng)微納制造共性技術(shù)、賦能產(chǎn)研生態(tài)的開放、共享型科創(chuàng)服務(wù)平臺。

  林斌和徐云對論壇的成功舉辦和微納平臺驗證線通線表示祝賀。林斌指出，微納平臺打破了“科學(xué)發(fā)現(xiàn)與工程轉(zhuǎn)化”的壁壘，成為產(chǎn)學(xué)研協(xié)同攻關(guān)的“硬核支撐”，這將為異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)突破提供關(guān)鍵引擎，為寧波乃至全國集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入強勁動能。他表示，以此次論壇為紐帶，鎮(zhèn)海區(qū)將始終當好“首席服務(wù)官”，拿出最大誠意、最優(yōu)資源、最佳服務(wù)，與專家共同深化科研合作，與企業(yè)家拓展合作空間，推動更多優(yōu)質(zhì)項目在寧波、鎮(zhèn)海落地生根、開花結(jié)果。

  徐云表示，甬江實驗室微納平臺是甬江科創(chuàng)區(qū)“打造世界一流科創(chuàng)策源中心”的關(guān)鍵一環(huán)，此次8英寸驗證線正式通線，是寧波科技創(chuàng)新發(fā)展的大事，將進一步提升寧波在微納制造領(lǐng)域的工程驗證能力，為新一代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)原創(chuàng)研究和技術(shù)落地提供更高水平的公共服務(wù)與創(chuàng)新支撐。他希望甬江實驗室持續(xù)構(gòu)建原創(chuàng)技術(shù)“策源地”，營造高端人才集聚“強磁場”，打造全鏈創(chuàng)新轉(zhuǎn)化“加速器”，為寧波經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展注入持續(xù)動能。

  崔平對各位專家學(xué)者和領(lǐng)導(dǎo)的參會表示熱烈歡迎。她指出，半個多世紀以來，摩爾定律始終指引著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展。然而，隨著晶體管尺寸逼近原子極限，傳統(tǒng)“微縮”路徑已難以為繼，異質(zhì)異構(gòu)集成技術(shù)正是應(yīng)對這一挑戰(zhàn)的創(chuàng)新方案，也是實現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“變道超車”的重要戰(zhàn)略機遇。甬江實驗室信息材料與微納器件制備平臺正是基于這樣的戰(zhàn)略考量而建設(shè)的。

  “不做特定賽道的競爭者，而是做前沿賽道的鋪路人。”崔平表示，驗證線的開通不僅是從“6英寸”到“8英寸”的尺寸升級，更是從“概念驗證”到“工程驗證”的能力躍遷。甬江實驗室微納平臺將始終秉持開放共享的原則，恪守"中立"精神，持續(xù)強化平臺功能和服務(wù)能力，為高校院所和企業(yè)提供先進完備的基礎(chǔ)設(shè)施和工藝驗證支撐，加速創(chuàng)新成果轉(zhuǎn)化落地，貫通創(chuàng)新鏈與產(chǎn)業(yè)鏈，推動形成協(xié)同高效的創(chuàng)新生態(tài)體系。

  通線儀式上，來自高校院所、產(chǎn)業(yè)界的專家學(xué)者，以及市、區(qū)級有關(guān)領(lǐng)導(dǎo)共同見證了微納平臺8英寸驗證線正式通線。隨后，微納平臺負責人鐘飛對平臺進行了介紹?！拔覀儗⒁院诵陌雽?dǎo)體技術(shù)為根基，支撐科研團隊創(chuàng)新，把想法變成樣品，解決量產(chǎn)前無處驗證的產(chǎn)業(yè)痛點?！辩婏w介紹道。

  儀式同期還舉辦了異質(zhì)異構(gòu)集成前沿論壇，來自學(xué)術(shù)界、產(chǎn)業(yè)界的知名專家學(xué)者作主旨報告。中國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院總工程師李宏偉，華潤微電子首席專家李少平，國家特聘專家、浙江大學(xué)求是講席教授、浙江大學(xué)微電子集成系統(tǒng)研究所所長儲濤等多名專家作了分享，與參會代表一同探討異質(zhì)異構(gòu)集成前沿技術(shù)和發(fā)展機遇。

  正如崔平主任所說，孤木不成林，獨弦不成音，甬江實驗室構(gòu)建的是一個開放共享的基礎(chǔ)設(shè)施，一個中立可信的賦能平臺，一個鏈接產(chǎn)學(xué)研用的創(chuàng)新樞紐——為產(chǎn)業(yè)提供最需要、最關(guān)鍵的“臨門一腳”。

  無論是Chiplet帶來的系統(tǒng)重構(gòu)、CPO光電共封裝的深度融合、混合鍵合的原子級制造，還是Micro-LED等新器件的跨材料集成，甬江實驗室都有能力、有信心與學(xué)界、產(chǎn)業(yè)界一道，積累關(guān)鍵驗證數(shù)據(jù)，共同探索從中試走向量產(chǎn)的可行路徑。